数计量测试技术攻关。此次技术攻关已显著提升了我国在 MEMS 介电常数、脉冲波形、光子链路定位、电磁辐射等参数上的计量测试能力，有效解决了 MEMS 关键射频参数在计量测试与行业应用中遇到的难题。该研究成功研制了基材介电常数计量装置、太赫兹波形计量装置、光子链路定位参数计量装置、微互连电磁泄漏总辐射功率测试装置以及微机电系统电接触和互连电参数测试装置等多项技术成果，部分指标已达到国际先进水平。从官
试装置以及微机电系统电接触和互连电参数测试装置等多项技术成果，部分指标已达到国际先进水平。从官方获悉，研究团队还牵头起草了《皮秒级快沿 / 脉冲发生器校准规范》等 3 项国家计量技术规范，健全了我国在微机电系统测量及相关仪器仪表领域的质量保证体系。目前，相关研究成果已在 5G 高频器件、光电集成器件及机载光网络领域展开了示范应用，助力提升了我国滤波器等 5G 高频器件的创新研发能力，并保障了故障诊
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发布时间：16:08:26